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  • 理工-理科類-原子科學
  • 真空技術精華

    Vacuum Technology
  • 作  者:蘇青森
  • 出版社別:五南
  • 出版日期:2021/10/07(1版8刷)
  • ISBN:978-957-11-3478-9
  • 書  號:5B91
  • 頁  數:260
  • 開  數:16K
  • 定  價:340元
  • 優惠價格:306元
滿額優惠折扣 11/15-12/31年末雙重滿額贈,全站滿699再打9折
  • 投影片(請電洽,僅供老師索取)
    Chapter 1 真空的基本觀念
    1.1 從歷史發展認識真空
    1.2 絕對真空與真空的定義
    1.3 真空壓力與真空度
    1.4 自然界的真空
    1.5 真空技術的基本量
    1.6 真空系統的特徵
    1.7 真空應用
    Chapter 2 真空中的氣體與氣流
    2.1 氣體與真空壓力
    2.2 部分壓力與總壓力
    2.3 真空中的氣流形態
    2.4 真空區分
    2.5 真空有關的氣體理讑
    Chapter 3 產生真空的方法
    3.1 真空幫浦
    3.2 粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦
    3.3 高真空到超高真空抽氣用的幫浦
    3.4 抽真空系統的幫浦組合
    Chapter 4 真空量測
    4.1 真空量測的基本量
    4.2 真空中氣體的壓力
    4.3 粗略到中度真空範圍用的真空計
    4.4 高真空及超高真空範圍用的真空計
    4.5 部分壓力分析儀
    4.6 真空計的校正
    4.7 抽氣速率的測定
    4.8 氣流通量的測定
    4.9 氣導的測定
    Chapter 5 真空系統與計算
    5.1 真空系統
    5.2 真空系統管路氣導的計算
    5.3 管路氣導的計算公式
    5.4 薄壁上孔道的氣導
    5.5 管路中空氣以外其他氣體的氣體
    5.6 真空系統有效抽氣速率
    5.7 抽氣速率損失
    5.8 氣體分子的平均自由動徑
    5.9 氣體分子間平均碰衝率
    5.10 單分子層附著時間
    Chapter 6 測漏技術與清潔方法
    6.1 真空系統的漏氣
    6.2 找漏與堵漏
    6.3 真空系統的污染
    6.4 清潔的方法
    6.5 真空系統烘烤
    Chapter 7 真空製程
    7.1 常用的真空製程
    7.2 高科技真空製程
    7.3 鍍膜技術簡介
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