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理工
-
電機資訊類
-
電子
電子材料
作 者:
張勁燕
出版社別:
五南
出版日期:2012/09/11(3版4刷)
ISBN:978-957-11-3610-3
書 號:5D11
頁 數:520
定 價:500元
優惠價格:99元
主題書展
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投影片(請電洽,僅供老師索取)
電子材料包括範圍很廣,材料結構、材料物理或化學、半導體、超導體、液晶顯示器、薄膜電晶體、積體光學、全像術、微機電、醫工、感測器等等·本書專注半導體一個領域。重點在製造半導體元件所用的各種材料;長晶材料、晶圓製程材料、製程用材料、機器設備用材料、無塵室和廠務設施用材料、封裝材料等,本書均有詳盡的敘述。 編著者十幾年來一直在從事半導體相關的教學、收集了不少寶貴的資料。以將近一年的時間編著了這本電子材料,祈望能給想從事半導體製造的同學們一項內容豐富、有力的教科書,業界工程師、研究生、教授老師們一項便捷的參考。
●張勁燕 現職:逢甲大學電子系副教授 學歷:交通大學電子工程研究所博士 經歷:新加坡Intersil電子公司工程師 ITT環宇電子公司工程經理 台灣電子電腦公司半導體廠廠長、總經理 萬邦電子公司總工程師 明新工專電子科副教授(或兼科主任) 逢甲大學電機系副教授 逢甲大學電子系副教授(或兼系主任) 逢甲大學電子系副教授2001~迄今 代表著作:半導體製程設備,2000,五南圖書出版 工程倫理,2000,高立圖書公司 工業電子學,2001,五南圖書出版 深次微米矽製程技術,2002,五南圖書出版
第一章 矽和化合物半導體
第二章 微影照像用材料
第三章 摻質材料
第四章 介電質材料
第五章 清洗材料
第六章 蝕刻材料
第七章 金屬製程和材料
第八章 無塵室用材料
第九章 純水處理材料
第十章 廢水廢氣處理用材料
第十一章 封裝和材料
第十二章 厚膜和混成電路用材料
第十三章 奈料材料
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