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理工-電機資訊類-電機
微機電系統工程

An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering

原文作者：Nadim Maluf
作　　者：李世鴻譯
出版社別：五南
出版日期：2003/04/23(1版1刷)
ＩＳＢＮ：957-11-3232-2
書　　號：5D56
頁　　數：340
剩餘庫存：3本

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定　　價：370元
優惠價格：333元

本書作者 Nadim Maluf 在史丹福大學博士班期間即致力於微機電系統的研究，之後更在產業界從事微機電系統 (MEMS) 產品的開發與商品化的工作，有十餘年的研究及實務經驗，對於 MEMS 的設計與製造有精闢的見解。
　　本書介紹關於微機電系統的材料、製程工具、現有的產品結構、未來發展方向及封裝等方面的基本認識，並著重於 MEMS 的設計觀念以及相關的製造技術。
　　本書適用於大專、技術學院、大學之電機、機械、工業工程與系統、應用物理系的師生和業界工程技術人員參考使用。

現職：大葉大學電機工程系暨研究所副教授／學歷：美國賓州州立大學電機工程博士

　　　　