半導體(Semiconductor)是介於導體(Conductor)與絕緣體(Insulator)之間的材料。我們可以輕易的藉由摻質(Dopant)的摻雜(Doping)去提高導電度(Conductivity)。其中二六族及三五族是為化合物半導體(Compound Semiconductor)材料，大部分是應用於光電領域，如發光二極體(Light Emitting Diode , LED)、太陽能電池(Solar cell)等。而目前的積體電路(Integrated Circuit, IC)領域，還是主要以第四族的矽(Si)為主的元素半導體，也就是目前的矽晶圓(Silicon Wafer)基底材料(Substrate) 。
　　未來晶圓廠裡將有可能全面改為自動化的運作，到那時將不再需要大量的操作人員。而主要的人力將會是工程師(含)以上的職務，所以希望能以此書與各位以及想轉職的朋友們提供一個分享，讓大家都能對於常見的機台設備及其製程技術，都能有一個全觀的認識，以提升職場的競爭力。..more

•新增實務上極為重要，但在坊間書籍幾乎不提及的第13章WAT。
　　•修訂部份習題與內容，以求涵蓋新世代積體電路製程技術之所需。
　　•以最直觀的物理現象與電機概念，清楚闡釋深奧的元件物理觀念與繁瑣的數學公式；適合大專以上學校課程、公司內部專業訓練、半導體從業工程師實務上之使用。

　　本書宗旨主要是提供讀者在積體電路製造工程上的 know-how 與 know-why；並在此基礎上，進一步地介紹最新半導體元件的物理原理與其製程技術。它除了可作為電機電子工程、系統工程、應用物理、與材料工程領域的大學部高年級學生或研究生的教材，也可以作為半導體業界工程師的重要參考。..more

半導體製程已進入奈米線幅，而廣義微影技術為半導體製程之核心，惜國內尚無中文微影技術專書，因此決定教研之餘撰寫本書，以彌補此缺憾與空白，並為推動科技中文化，略盡個人棉薄。
　　本書重點在微影技術原理與概念之說明，而不在生產線上實務細節之描述。基於多年在交通大學應用化學研究所之教學經驗，本書亦包含瞭解微影技術必要之矽製程背景知識與基礎光學。
　　末來數年，半導體量產線幅當推進至45-32-22奈米技術節點，光學微影製程之難度日益增加，對製程工程師之挑戰亦日益升高。本書對相關領域讀者應有所助益與參閱價值。..more

有機電激發光二極體（OLED），這個日新月異的新穎顯示科技，幾乎一直都在不斷的進步。

　　根據 DisplaySearch 於2009年7月份做的市場評估，OLED 顯示器整體營收將由年平均 36% 的成長率，到2016年可達71億美元。這是一個非常亮麗的消息，其中主動矩陣式（AMOLED）也將在今年首次超越被動式（PMOLED）。另外在該年3月份的報告中，DisplaySearch 預估 OLED 照明的市場也在2011年開始快速起飛，預計在2018年可達60億美元，幾乎與 OLED 顯示器市場並駕齊驅，更頗有後來居上之勢。這個「白光 OLED 照明」的願景確實令人振奮，尤其對許多想要推展 OLED 而又苦無薄膜電晶體背版（TFT Backplane）技術及投資或產業規模的廠商及國家，猶如打了一針強心劑，特別如美國、歐盟甚至中國都已躍躍欲試，整裝待發。當然對高科技一直保持高度熱愛的日本，韓國更是不在話下（據聞韓國三星 SDI 計畫將關閉PMOLED 二代廠，準備全力投入白光 OLED 照明）。即使是日本 OLED 的主要推手，山形大學的域戶淳二（Kido）教授，他在2002年主導日本國家型顯示計畫時，曾經誇過海口要在2007 年研發出 60 吋的 OLED TV，也已改弦換轍，全力投入白光 OLED 照明的研發，並在2008年與三菱重工，Rohm，凸版印刷及三井物產成立了 Lumiotec 公司，又在2009年 6 月成立 OLED Lighting 燈具公司，專門針對 OLED 照明燈具做設計開發與銷售，並宣佈要在2010年初推出 15 cm × 15 cm 厚度僅 3.9 mm 的白光 OLED 照明燈具，開始「玩真的」了。

　　要白光 OLED 達到高的燈具效率（Luminaire Efficacy），有二個技術是不可或缺的：一個是磷光發光材料，尤其是藍光；另一個就是它的光萃取率（out-coupling）。我非常高興中央研究院化學研究所，陳錦地教授在本書第四章裡幫我撰寫磷光發光材料與白光磷光元件。另外我還請了國立台灣大學電機系吳忠幟教授幫我在第九章中專門寫 OLED 的光學與光萃取技術。他們廣泛的從化學，材料，發光機制到理論，元件及應用，都寫得非常之好，實為本書「增光」許多，也是我們讀者之福。這兩位大師從我在交大 2004 年開「有機電激發光材料與元件」課起，每年都代我為交大的學生們授一堂課，至今已逾五年，而且從未間斷，使同學們受益匪淺，令我非常感激。如今他們能一起與我寫書，也是我無比的光榮。

　　當然開發白光 OLED 並非只能應用在照明，它也可以用在大面積 OLED TV（如 WOLED + RGBW 彩色濾光片全彩顯示技術）及 LCD 的背光源等，為求闡述白光 OLED 照明元件的完整性及各種獨特，有趣及富挑戰性的結構，並加上不同發光材料系統的組合及潛在應用。另外，由於許多對 OLED 有興趣的朋友並不是學化學的，他們對 OLED 的材料名稱，化學構造式，及有如拼字遊戲的英文縮寫，往往不知所云而敬而遠之。為了消除這個心理障礙，本書在末尾特地為讀者加了一個附件，將一般常用的 OLED 化學結構，列表並按英文字母排序以供讀者參考。

　　因為要做照明，白光 OLED 的亮度最少要達到3000 cd/m2，甚至最好是5000 cd/m2，如果要打入一般照明市場，除此之外它還必須要省電、穩定、耐用、有高的發光效率與演色性（CRI）及大面積、光均勻、低成本等，箇中細節在本書中都有深入淺出的描述。如要實現節能的白光 OLED 照明，就必須要有很高的量子效率，出光及照光率，尤其未來還必須要能與無機白光 LED 照明競爭。如果 OLED 面光源流明瓦數不夠高的話，未來它可能會面臨像 OLED 顯示面板目前受到 TFT-LCD 打壓的同樣窘境與命運。好在白光 LED 照明是「點」光源，而且現在才剛開始起飛，白光 OLED 用它特有的「面」光源，可調明暗，易變光色，能透明化，可撓曲性，加上其光譜最像陽光、及易製作大面積等特性，現在迎頭趕上仍「有機」會，所以可說它是前途一片燦爛，充滿光亮與希望。