Chapter １ 真空的基本觀念
1.1 從歷史發展認識真空
1.2 絕對真空與真空的定義
1.3 真空壓力與真空度
1.4 自然界的真空
1.5 真空技術的基本量
1.6 真空系統的特徵
1.7 真空應用
Chapter ２ 真空中的氣體與氣流
2.1 氣體與真空壓力
2.2 部分壓力與總壓力
2.3 真空中的氣流形態
2.4 真空區分
2.5 真空有關的氣體理讑
Chapter ３ 產生真空的方法
3.1 真空幫浦
3.2 粗略真空到中度真空抽氣用的幫浦
3.3 高真空到超高真空抽氣用的幫浦
3.4 抽真空系統的幫浦組合
Chapter ４ 真空量測
4.1 真空量測的基本量
4.2 真空中氣體的壓力
4.3 粗略到中度真空範圍用的真空計
4.4 高真空及超高真空範圍用的真空計
4.5 部分壓力分析儀
4.6 真空計的校正
4.7 抽氣速率的測定
4.8 氣流通量的測定
4.9 氣導的測定
Chapter ５ 真空系統與計算
5.1 真空系統
5.2 真空系統管路氣導的計算
5.3 管路氣導的計算公式
5.4 薄壁上孔道的氣導
5.5 管路中空氣以外其他氣體的氣體
5.6 真空系統有效抽氣速率
5.7 抽氣速率損失
5.8 氣體分子的平均自由動徑
5.9 氣體分子間平均碰衝率
5.10 單分子層附著時間
Chapter ６ 測漏技術與清潔方法
6.1 真空系統的漏氣
6.2 找漏與堵漏
6.3 真空系統的污染
6.4 清潔的方法
6.5 真空系統烘烤
Chapter ７ 真空製程
7.1 常用的真空製程
7.2 高科技真空製程
7.3 鍍膜技術簡介
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